ニコン先端パッケージ露光装置クイズ

ニコンが今回開発中だと発表した装置は、主に半導体製造のどの工程向けですか。

新しい装置が目標とする解像度は何ですか。

ニコンが示した新装置の目標スループットはどれですか。

デジタル露光装置がフォトマスクを使わないことで期待される効果はどれですか。

記事がこの発表を重要だとみる理由として最も近いものはどれですか。